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ARTICLESHMS-901AH智能光刻烤膠機(jī)、硅精片高精度加熱板帶有負(fù)壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
HTL-350光刻烤膠機(jī)(晶圓烤膠機(jī))板表面溫度均勻,溫度100℃以內(nèi),精度0.1~0.3°C,200℃以內(nèi),精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋,整個加熱區(qū)形成一個保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用。
晶圓烤膠機(jī)(烘膠臺)具有自動進(jìn)氣功能、過溫保護(hù)功能、超溫報警功能,計時功能,已獲得CE認(rèn)證證書、實驗更安全、方便。
烤膠機(jī)廠家的光刻烤膠機(jī)(恒溫加熱)可選帶有保溫蓋,整個加熱區(qū)形成一個保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;機(jī)器可選擇帶有負(fù)壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果。
晶圓烤膠機(jī)(光刻)可選擇具有負(fù)壓功能,表面設(shè)有若干吸附孔,可使被加熱材料與表面緊密貼合,從而達(dá)到受熱均勻效果。
晶圓烤膠機(jī)(光刻)超快速加熱技術(shù)可使溫度以每秒5°C的速度增加,板表面溫度均勻,溫度100℃以內(nèi),精度0.1~0.5°C,200℃以內(nèi),精度1℃。
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